선형 이온 소스
LIS, Linear Ion source
선형이온소스는 소스 내부로 유입된 가스를 플라즈마 상태로 만들고 높은 전위차나 압력차를를 발생시켜 양전하는 Anode로 음전하는 Cathode로 이동시켜 이온들을 추출하는 방식을 말하며, 이때 나오는 이온들이 직진성을 가지며
기판에 증착이 되며 이때 보이는 빔 형태를 이온빔이라 칭함.
Ecthing 및 Deposition 등 다양한 활용
코팅막 증착 시 안정적인 이온 에너지 제공
대면적의 코팅막 증착에도 양질의 코팅막
낮은 유지비
상대재에 대한 높은 접합력
Ar, O2, N2 가스 등을 이용한 Cleaning
선형 이온 소스(LIS, Linear Ion source)
선형이온소스는 소스 내부로 유입된 가스를 플라즈마 상태로 만들고 높은 전위차나 압력차를를 발생시켜
양전하는 Anode로 음전하는 Cathode로 이동시켜 이온들을 추출하는 방식을 말하며, 이때 나오는 이온들이 직진성을 가지며 기판에 증착이 되며 이때 보이는 빔 형태를 이온빔이라 칭함.
Ecthing 및 Deposition 등 다양한 활용 용도
코팅막 증착 시 안정적인 이온 에너지 제공
대면적의 코팅막 증착에도 양질의 코팅막 형성
낮은 유지비
상대재에 대한 높은 접합력
Ar, O2, N2 가스 등을 이용한 Cleaning
