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HYBRID PLAsMA COATING SYSTEM

하이브리드 플라즈마 코팅 시스템 


HYBRID COATING SYSTEM

하이브리드 플라즈마 

코팅 시스템


ABOUT

하이브리드 플라즈마 코팅 시스템

HPCS Series : 하이브리드 플라즈마 코팅 시스템
챔버규격

1,000∅ X 1,000H / 1,000∅ X 1,500H

(고객사 맞춤형 대용량-대면적 플라즈마 코팅 시스템 제작기술 보유)

구성

High Discharge Sputter Source

(Alloy, Single Metal)

Linear Ion Source (Ion assist, Ion doping)
턴테이블3-Fold Type(Rotation & Revolution)
컨트롤

Window 체제 자동화 프로그램 운영방식

(Interlock, 실시간 데이터 로깅 시스템)

hcps service

M급 이상의 대면적-대용량 플라즈마 코팅 시스템 제작, 플라즈마 소스, 연구용 Lap

장비 서비스 가능 

:  품질 안정성 및 작업 안정성을 고려한

 자동 프로그램 컨트롤 시스템 및 

 Auto interlock, 실시간 Log 시스템 

 동시 구축 및 운영

About

하이브리드 플라즈마 코팅 시스템


HPCS Series : 하이브리드 플라즈마 코팅 시스템
챔버규격

1,000∅ X 1,000H / 1,000∅ X 1,500H

(고객사 맞춤형 대용량-대면적 플라즈마 코팅 

시스템 제작기술 보유)

구성

High Discharge Sputter Source

(Alloy, Single Metal)

Linear Ion Source (Ion assist, Ion doping)
턴테이블
3-Fold Type(Rotation & Revolution)
컨트롤

Window 체제 자동화 프로그램 운영방식

(Interlock, 실시간 데이터 로깅 시스템)

hpCs sERVICE

M급 이상의 대면적-대용량 플라즈마 코팅 시스템 제작, 플라즈마 소스, 연구용 Lap 장비 서비스 가능 

:  품질 안정성 및 작업 안정성을 고려한 자동 프로그램 컨트롤 시스템 및 Auto interlock, 

   실시간 Log 시스템 동시 구축 및 운영