플라즈마 코팅 증착 공정 기술
나노 복합 코팅 (Nanocomposite): 산화물, 탄화물, 질화물 등
기능성 코팅 (Carbon 계): DLC, Si-DLC, W-DLC, AI-DLC 등
고진공 → 이온 전처리 공정 → 버퍼층 증착 → 최종 기능층 증착 → 쿨링 및 벤팅
나노복합 세라믹코팅 (ZrSiO₂)
성능개선
원가절감
탄소기반 나노코팅 (Me-DLC)
내마도, 전도성, 내소착, 이형성
HEA계 코팅 TiCrASiN
