HYBRID PLAsMA COATING SYSTEM

하이브리드 플라즈마 코팅 시스템 


HYBRID COATING SYSTEM

하이브리드 플라즈마 

코팅 시스템


ABOUT

선형 이온 소스 및 스퍼터링 융합 기술을 이용한 친환경 기반의 하이브리드 

상온 플라즈마 건식 코팅 기술


선형 이온 소스 (LIS, Linear Ion Source)와  

비평형 마그네트론 스퍼터링(UBMS, Unbalanced Magnetron Sputtering) 시스템의 공정화를 통하여 

다양한 하드 코팅막을 복합적으로 세정, 증착 및 합성공정에유용한 친환경적인 상온 기반의  플라즈마 건식 코팅 기술

BENEFIT

코팅 Cathode(-) 전극용 플라즈마 방전 설계 

기술을 이용한 내경 코팅용 시스템 기술 

적용산화 방지 코팅

Carbon계, Si계 등의 고기능성 나노복합 코팅물질 증착을 통한 포장용기 제품 보존 수명 및 소비자 만족

접합력(Adhesion) 향상을 위한 버퍼 코팅막 층(layer)의 

설계 기술 적용 및 코팅막 내구성 확보

About

선형 이온 소스 및 스퍼터링 융합 기술을 이용한

친환경 기반의 하이브리드 상온 플라즈마 건식 코팅 시스템


선형 이온 소스 (LIS, Linear Ion Source)와 사각 UBM 스퍼터소스

(UBMS, Unbalanced Magnetron Sputtering)를 사용한 건식 코팅 시스템으로,

플라즈마 동시 방전 융합을 통한 다양한 제품 또는 부품의 코팅을 증착할 수 있는 기술


benefit


M급 이상의 대면적-대용량 플라즈마 코팅 시스템 제작

플라즈마 소스 / 연구용 Lap 장비 서비스 가능

품질 안정성 및 작업 안정성을 고려한 자동 프로그램 컨트롤 시스템 및 Auto interlock

실시간 Log 관리 시스템 동시 구축 및 운영

접합력(Adhesion) 향상을 위한 버퍼 코팅막 층(layer)의 

설계 기술 적용 및 코팅막 내구성 확보